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VMS3020影像儀的誤差是哪些因素引起的呢?

更新時間:2020-07-21  |  點擊率:2319
   VMS3020影像儀是近十年來發(fā)展快速的幾何光學(xué)測量儀器,它一般由機械、照明、測長、圖像采集、計算機和測量軟件等六部分組成。光學(xué)原理與普通投影儀很類似,區(qū)別在于被測件的輪廓影像被CCD傳感器接收并由計算機進行圖像采集和處理。它能檢測各種形狀復(fù)雜工件的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置,特別是精密零部件的微觀檢測與質(zhì)量控制,適用于產(chǎn)品開發(fā)、逆向工程、品質(zhì)檢測等領(lǐng)域。
  下面我們來了解下VMS3020影像儀的誤差來源。
  在VMS3020影像儀上的測量均是單軸或二維平面坐標的測量,測量時先對焦,后對準,再讀數(shù)(計數(shù)),后計算處理。讀數(shù)來自于標尺即光柵系統(tǒng),對焦對準依靠顯微鏡光學(xué)系統(tǒng),還有一個直接影響測量效果和精度的照明光源,因為,基于影像方法測量的儀器,如果被測件不能被有效正確的照明,則測量的結(jié)果顯然要偏離其真實尺寸。
  除上述因素外,環(huán)境條件也是制約測量精度不可忽視的因素?;谏鲜龇治?,可以歸納出VMS3020影像儀誤差來源于以下幾個方面:
  1、光柵計數(shù)尺的誤差;
  2、工作臺移動時存在的直線度、角擺帶來的誤差;
  3、工作臺兩測量軸垂直度帶了的誤差;
  4、顯微鏡光軸與工作臺面不垂直帶了的誤差;
  5、測量室溫度帶來的誤差;
  6、光源照明條件的變化帶來的對焦和對準誤差。
  在這幾種因素中,前四項誤差,是硬件誤差,在儀器制造過程中已經(jīng)形成并固定下來。一般無法改變;溫度影響帶來的誤差,通過控制測量室的溫度和等溫過程來減小其影響。后一項則常被忽視,而在實際測量中,當(dāng)光源照明條件改變時,直接影響被測工件的照明效果和影像質(zhì)量,主要是因為VMS3020影像儀的圖像是通過CCD接收,盡管CCD具有自動調(diào)節(jié)增益的功能,但當(dāng)亮度過大時即失去調(diào)節(jié)功能,導(dǎo)致被測工件影像在縮小,當(dāng)亮度過低時,工件影像反而變大。
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